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如何選擇多晶硅料烘箱-石墨舟烘箱?
首先:硅料硅片晶圓在生產(chǎn)清洗工業(yè)中,利用酸堿水去除硅片硅料表面的有機(jī)物、顆粒、金屬雜質(zhì)、自然氧化層等污染物。水洗過(guò)后的硅料就需要在烘箱內(nèi)進(jìn)行烘烤干燥處理。所以烘箱內(nèi)各點(diǎn)的溫度均勻性和箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)的風(fēng)量是需要考慮的因素
其次:帶有酸堿水的硅料在烘干過(guò)程中,會(huì)產(chǎn)生帶有酸堿腐蝕性氣體排出。所以在選擇多晶硅料烘箱的時(shí)候,還要考慮它的排風(fēng)系列。
多晶硅是硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來(lái),就結(jié)晶成多晶硅。多晶硅料是生產(chǎn)單晶硅的直接原料,是當(dāng)代人工智能、自動(dòng)控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的電子信息基礎(chǔ)材料。被稱為"微電子大廈的基石"。在太陽(yáng)能電池組件、太陽(yáng)能電池片、太陽(yáng)能硅棒、太陽(yáng)能硅片、晶體硅太陽(yáng)能電池、晶體硅太陽(yáng)能組件行業(yè)中使用非常廣泛。
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